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近期,国产光刻机消息频频。 {jz:field.toptypename/}上月,全球光刻机龙头ASML CEO 克里斯托弗富凯在接受采访时表示:"中国已经在很多领域实现自主研发了,假以时日,他们甚至可能反过来向我们出口这些产品。" 同在上月25日,根据中国政府采购网公告,上海微电子中标科技部1.1亿元光刻机项目。 据报道,上海微电子的28nm浸没式DUV光刻机(SSA800系列)已完成多轮工艺验证,整机国产化率突破85%,套刻精度优于2.5纳米,凤凰彩票官网app2025年已进入批量交付阶段。 ![]()
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