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在芯片制造的关键材料领域,光刻胶曾长期被海外企业垄断。但如今,国内有六家企业正凭借技术突破和产能布局,在“进口替代”的道路上大步迈进,为中国半导体材料的自主化添砖加瓦。
先说说飞凯材料,它在i-line光刻胶和KrF光刻配套Barc材料上已经实现量产,而且这些产品经过了下游客户的验证,这意味着其产品质量和实用性得到了市场认可。同时,飞凯材料还是国内主要的光纤光缆涂覆材料供应商之一,其控股子公司和成显示更是入选了国家制造业单项冠军企业,这足以说明它在相关领域的实力和地位。 再看鼎龙股份,在KrF、ArF领域布局了近30款高端晶圆光刻胶,其中2款已经通过验证并拿到了订单,超15款在送样验证,超10款进入加仑样测试阶段。在显示光刻胶方面,产能达到1000吨/年,国内市占率超过60%。潜江一期KrF/ArF光刻胶产能30吨/年已量产,二期300吨/年也即将试运行。从这些数据可以看出,鼎龙股份在光刻胶的布局上是全方位且有规模的,凤凰彩票app下载未来有望在市场上占据更大的份额。 容大感光作为国家第一批专精特新小巨人企业,在248nm光刻胶项目上完成了光刻机等核心设备配置,彩色滤光片用RGB光刻胶也实现了少量销售。它是国内少数能实现三类光刻胶批量生产、销售的企业之一,这体现了它在技术和生产上的双重能力。 上海新阳在I线、KrF、ArF干法、ArF浸没式各类光刻胶上都有稳定的销售。更值得一提的是,它是国内唯一一家具备满足90-14nm铜制程全节点需求的电镀液及清洗液量产能力的企业,而且其EUV光刻胶新获发明专利授权。这意味着上海新阳在半导体材料的多个关键环节都有核心技术,为芯片制造的国产化提供了有力支持。 晶瑞电材多款KrF光刻胶已经量产出货,ArF光刻胶小批量出货且多款在送样。其半导体级高纯双氧水、高纯硫酸、高纯氨水均达到最高纯度SEMI G5等级,这些高纯度的化学材料对于芯片制造的质量至关重要,晶瑞电材在这方面的突破,保障了国内半导体材料的供应质量。 八亿时空具备高端半导体KrF光刻胶树脂全系列研发生产能力,还与多家头部光刻胶厂家合作,在液晶材料领域更是主导起草了我国四项国家标准。这显示出八亿时空在技术研发和行业标准制定上都有一定的话语权。 这些企业的发展,不仅是国产光刻胶技术的进步,更是中国半导体产业在材料领域自主化的重要体现。虽然目前在一些高端光刻胶领域,国内企业与海外巨头还有差距,但随着这些企业的持续投入和突破,相信未来国产光刻胶在市场上的竞争力会越来越强,为中国芯片产业的发展奠定更坚实的材料基础。 |



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